膜厚仪相关标准用于规范其性能、校准、测量方法等，以确保测量结果的准确性和可靠性，以下是一些常见的标准：
国际标准
ISO 2808：《色漆和清漆 漆膜厚度的测定》，该标准规定了多种测量漆膜厚度的方法，包括磁性法（适用于磁性基体上的非磁性涂层）、涡流法（适用于导电基体上的非导电涂层）、显微镜法等。详细说明了每种方法的原理、适用范围、仪器设备要求、测量步骤以及结果的计算和表示，为全球范围内色漆和清漆漆膜厚度的测量提供了统一的规范和指导。
ISO 1463：《金属和氧化物覆盖层 厚度测量 轮廓仪法》，此标准针对采用轮廓仪法测量金属和氧化物覆盖层厚度的方法进行了规定。涵盖了轮廓仪的工作原理、仪器的校准、测量条件的选择、测量步骤以及测量结果的处理和等内容，适用于对各类金属和氧化物覆盖层厚度的测量，尤其在一些对覆盖层厚度均匀性和表面轮廓有较高要求的应用场景中具有重要指导意义。
国家标准
GB/T 4956：对应国际标准 ISO 2178，名称为《磁性基体上非磁性覆盖层 覆盖层厚度测量 磁性法》。该标准明确了利用磁性测厚仪测量磁性基体（如钢铁）上非磁性覆盖层（如油漆、塑料、铜、铝等）厚度的方法。规定了仪器的校准方法、测量点的选择、测量次数以及测量结果的评定等，是国内进行磁性法膜厚测量的重要依据，广泛应用于表面处理、机械制造、汽车工业等领域。
GB/T 4957：与 ISO 2360 相对应，即《非磁性基体金属上非导电覆盖层 覆盖层厚度测量 涡流法》。该标准阐述了使用涡流测厚仪测量非磁性基体金属（如铝、铜等）上非导电覆盖层（如氧化膜、漆膜等）厚度的原理、仪器要求、测量程序和结果处理等内容。为相关行业在非磁性基体上非导电覆盖层厚度测量方面提供了统一的技术规范。
GB/T 6462：等同于 ISO 1463，《金属和氧化物覆盖层 厚度测量 截面显微镜法》。该标准详细描述了通过截面显微镜法测量金属和氧化物覆盖层厚度的具体方法，包括试样的制备、显微镜的校准和操作、测量位置的确定以及厚度的计算等。对于需要高测量覆盖层厚度且对覆盖层微观结构有研究需求的情况，该标准具有重要的指导作用。
行业标准
SJ/T 20975：《半导体器件工艺用扩散层、外延层和离子注入层薄层电阻与膜厚测试方法 电容 - 电压法》，属于电子行业标准，专门针对半导体器件工艺中扩散层、外延层和离子注入层的膜厚测量。电容 - 电压法是基于半导体物理原理，通过测量电容与电压的关系来推算膜厚和薄层电阻等参数。该标准对于半导体芯片制造过程中的质量控制和工艺优化具有重要意义，确保半导体器件的性能和可靠性。
HG/T 3869：《地坪涂料 漆膜厚度的测定》，是化工行业关于地坪涂料漆膜厚度测定的标准。规定了适用于地坪涂料漆膜厚度测量的方法，考虑到地坪涂料应用场景的特殊性（如地面的平整度、使用环境等），对测量仪器的选择、测量点的布置以及测量结果的处理等方面做出了相应规定，以保证地坪涂料漆膜厚度符合相关质量要求，确保地坪的使用性能和寿命。
膜厚仪的使用方法不同类型的膜厚仪使用方法会有所差异，下面为你介绍常见的几种膜厚仪的使用方法：
磁感应膜厚仪
准备工作
检查仪器电量是否充足，若电量不足需及时充电或更换电池。
确认测头和仪器连接正常，无松动或损坏情况。
准备好标准片，用于仪器校准。标准片的材质和涂层类型应与被测样品相近。
仪器校准
打开仪器电源，预热一段时间（根据仪器说明书要求），使仪器达到稳定工作状态。
将仪器置于标准片上，按照仪器操作界面提示进行校准操作。一般通过调整仪器的校准旋钮或使用校准功能键，使仪器显示值与标准片的标称厚度一致。校准完成后，再次测量标准片，确保测量值在允许的误差范围内。
测量操作
将测头垂直且紧密地接触被测样品表面，确保测头与样品表面完全贴合，无间隙或倾斜。
待仪器显示值稳定后，读取并记录测量结果。为保证测量准确性，可在不同位置进行多次测量（一般不少于 3 次），取平均值作为终测量结果。
测量过程中，若需要更换测量位置，应先将测头从样品表面移开，再移动到新的位置进行测量，避免测头在样品表面滑动造成损坏。
测量结束
测量完成后，关闭仪器电源，妥善保管测头和仪器，避免碰撞和损坏。
电涡流膜厚仪
准备工作
检查仪器外观是否完好，各部件连接是否正常。
准备好合适的标准片，标准片的基体材料和涂层特性应与被测样品相符。
确保测量环境符合仪器要求，避免强磁场、电场干扰。
仪器校准
开启仪器电源，等待仪器自检和预热。
将仪器放置在标准片上，进入校准模式。根据仪器提示，调整校准参数，使仪器显示值与标准片的厚度值一致。校准完成后，对标准片进行多次测量，检查校准的准确性。
测量操作
将测头对准被测样品表面，保持测头与样品表面平行且垂直距离适当（一般根据仪器说明书要求）。
按下测量按钮，仪器会自动测量并显示涂层厚度值。在测量过程中，要保持测头稳定，避免晃动。
按照上述方法，在样品的不同位置进行测量，记录每次的测量结果。
测量结束
测量完毕后，关闭仪器电源，清理测头，将仪器和配件妥善存放。
光学膜厚仪（以干涉法为例）
准备工作
清洁仪器的光学部件，确保无灰尘、污渍等影响测量。
准备好已知厚度的标准样品，用于仪器的校准和验证。
将被测样品放置在干净、平整的样品台上，确保样品表面无杂质和损伤。
仪器校准
打开仪器电源，启动软件系统，等待仪器初始化完成。
将标准样品放置在样品台上，调整样品台的位置和角度，使仪器的光路对准样品表面。
在软件中选择校准功能，按照提示进行操作，输入标准样品的厚度值，仪器会自动进行校准计算，调整测量参数。
测量操作
移除标准样品，将被测样品准确放置在样品台上原来的位置。
在软件中选择测量功能，设置测量参数（如测量范围、测量点数等）。
点击测量按钮，仪器发射光束照射样品表面，采集反射光信号，软件自动分析处理信号并计算出膜厚值。
重复测量多次，获取不同位置的膜厚数据，可通过软件生成测量，查看测量结果的统计信息。
测量结束
测量完成后，关闭仪器电源和软件系统，清理样品台和光学部件。
将仪器恢复到初始状态，妥善保管。
在使用膜厚仪之前，务必仔细阅读仪器的使用说明书，严格按照说明书的要求进行操作。