膜厚仪相关标准用于规范其性能、校准、测量方法等，以确保测量结果的准确性和可靠性，以下是一些常见的标准：
国际标准
ISO 2808：《色漆和清漆 漆膜厚度的测定》，该标准规定了多种测量漆膜厚度的方法，包括磁性法（适用于磁性基体上的非磁性涂层）、涡流法（适用于导电基体上的非导电涂层）、显微镜法等。详细说明了每种方法的原理、适用范围、仪器设备要求、测量步骤以及结果的计算和表示，为全球范围内色漆和清漆漆膜厚度的测量提供了统一的规范和指导。
ISO 1463：《金属和氧化物覆盖层 厚度测量 轮廓仪法》，此标准针对采用轮廓仪法测量金属和氧化物覆盖层厚度的方法进行了规定。涵盖了轮廓仪的工作原理、仪器的校准、测量条件的选择、测量步骤以及测量结果的处理和等内容，适用于对各类金属和氧化物覆盖层厚度的测量，尤其在一些对覆盖层厚度均匀性和表面轮廓有较高要求的应用场景中具有重要指导意义。
国家标准
GB/T 4956：对应国际标准 ISO 2178，名称为《磁性基体上非磁性覆盖层 覆盖层厚度测量 磁性法》。该标准明确了利用磁性测厚仪测量磁性基体（如钢铁）上非磁性覆盖层（如油漆、塑料、铜、铝等）厚度的方法。规定了仪器的校准方法、测量点的选择、测量次数以及测量结果的评定等，是国内进行磁性法膜厚测量的重要依据，广泛应用于表面处理、机械制造、汽车工业等领域。
GB/T 4957：与 ISO 2360 相对应，即《非磁性基体金属上非导电覆盖层 覆盖层厚度测量 涡流法》。该标准阐述了使用涡流测厚仪测量非磁性基体金属（如铝、铜等）上非导电覆盖层（如氧化膜、漆膜等）厚度的原理、仪器要求、测量程序和结果处理等内容。为相关行业在非磁性基体上非导电覆盖层厚度测量方面提供了统一的技术规范。
GB/T 6462：等同于 ISO 1463，《金属和氧化物覆盖层 厚度测量 截面显微镜法》。该标准详细描述了通过截面显微镜法测量金属和氧化物覆盖层厚度的具体方法，包括试样的制备、显微镜的校准和操作、测量位置的确定以及厚度的计算等。对于需要高测量覆盖层厚度且对覆盖层微观结构有研究需求的情况，该标准具有重要的指导作用。
行业标准
SJ/T 20975：《半导体器件工艺用扩散层、外延层和离子注入层薄层电阻与膜厚测试方法 电容 - 电压法》，属于电子行业标准，专门针对半导体器件工艺中扩散层、外延层和离子注入层的膜厚测量。电容 - 电压法是基于半导体物理原理，通过测量电容与电压的关系来推算膜厚和薄层电阻等参数。该标准对于半导体芯片制造过程中的质量控制和工艺优化具有重要意义，确保半导体器件的性能和可靠性。
HG/T 3869：《地坪涂料 漆膜厚度的测定》，是化工行业关于地坪涂料漆膜厚度测定的标准。规定了适用于地坪涂料漆膜厚度测量的方法，考虑到地坪涂料应用场景的特殊性（如地面的平整度、使用环境等），对测量仪器的选择、测量点的布置以及测量结果的处理等方面做出了相应规定，以保证地坪涂料漆膜厚度符合相关质量要求，确保地坪的使用性能和寿命。